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1、玻義爾定律
體積V,壓強P,P·V=常數
一定質量的氣體,當溫度不變時,氣體的壓強與氣體的體積成反比。
即P1/P2=V2/V1
2、蓋·呂薩克定律
當壓強P不變時,一定質量的氣體,其體積V與絕對溫度T成正比:
V1/V2=T1/T2=常數
當壓強不變時,一定質量的氣體,溫度每升高(或P降低)1℃,則它的體積比原來增加(或縮小)1/273。
3、查理定律
當氣體的體積V保持不變,一定質量的氣體,壓強P與其絕對溫度T成正比,即:
P1/P2=T1/T2
在一定的體積下,一定質量的氣體,溫度每升高(或降低)1℃,它的壓強比原來增加(或減少)1/273。
4、平均自由程:
λ=(5×10-3)/P (cm)
5、抽速:
6、通導: C=Q/(P2-P1) (升/秒)
7、真空抽氣時間:
8、維持泵選擇:
9、擴散泵抽速估算:
10、羅茨泵的前級抽速:
11、漏率:
12、粗抽泵的抽速選擇:
13、前級泵抽速選擇:
排氣口壓力低于一個大氣壓的傳輸泵如擴散泵、油增壓泵、羅茨泵、渦輪分子泵等,它們工作時需要前級泵來維持其前級壓力低于臨界值,選用的前級泵必須能將主泵的最大氣體量排走,根據管路中,各截面流量恒等的原則有:
14、擴散泵抽速計算公式:
15、旋片真空泵的幾何抽速計算公式:
16、O型橡膠槽深B=0.7D
17、方形橡膠槽深B=0.8A
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